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EVG 850LT SOI晶圆键合系统
面议
亚科电子
EVG 850LT SOI晶圆键合系统
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EVG 850LT是一款专门用于SOI晶圆的全自动键合系统,相比EVG850增加了低温等离子体激活模块,提高键合质量。
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