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EVG 805解键合系统
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EVG 805解键合系统
551
产品简介：
EVG 805是一款半自动解键合设备，支持热解、机械解或胶带剥离。
主要特点及参数：
·**可适用于12寸（300mm）晶圆
·*多可配置1个解键合模组
·可处理薄片
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