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超高温退火炉

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产品规格型号
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面议

品牌：

拉普拉斯

型号：

超高温退火炉

关注度：

929

产品介绍

项   目

高温退火激活炉

功  能

•  用于SiC、GaN等高温退火活化工艺 

•  满足各种真空、气氛高温退火的激活工艺

重要参数

•  **晶圆尺寸：满足6寸以下晶圆工艺要求 

•  **载片量：50片/批 

•  **加热温度：2000℃

装卸片方式

•  立式垂直升降 

•  立式真空密封系统

SiC/GaN基半导体器件用Bhadra™系列BHA200型超高温退火炉

获取更多信息，请访拉普拉斯新能源科技股份有限公司 网站

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超高温退火炉

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