业内**的半导体/FPD检查显微镜，没有之一。

LEICA INM100自动芯片分析显微镜配备其配套的控制器、摄像头，软件，PRIOR纳米平台集成了整个Imaging System。

　　是对深亚微米工艺芯片进行连续性、大面积的微观图片信息采集的**工具。

　　使用方法：

　　① 将试样芯片置于直线刻度自动纳米平台上，试样芯片与电动平台之间的位置关系是相对固定的

　　② 设定显微镜的放大倍数，一边通过目镜观察，一边调节电动台控制器的操纵杆和转钮，使显微镜的物镜对准试样的某一微观区域（一般是试样的*边缘）

　　③ 试样芯片通过显微镜所成的像由CCD采集

　　④ CCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换

　　⑤ CCD控制器处理过的信号在计算机的显示器上显示出来，在图像达到满意的效果之后，操纵拍摄控制软件，便将该图像保存在计算机中

　　⑥ **张图像保存后，由于电动台控制器具有设定的程序，控制器会控制电动平台自动移动至下一相邻的微观区域（逐行或逐列，两微观区域共一边界），从而使计算机的显示器上呈现第二个微观区域的图像信息。由于处理过的芯片的表面并不平坦，且放大倍数较高，可能造成显示器上图像并不清晰，此时可以通过调节电动台控制器来调节显微镜的焦距，直至获取该微观区域清晰的图像。拍摄第三个微观区域…第四个…整个芯片拍摄完毕。

**版本的自动芯片拍照软件可以同时处理上万张照片的拍摄，自动拼接合成功能，并可以将上万张照片的合成照片显示在计算机屏幕上，解决了海量照片无法显示的难题。为全面深入地分析芯片提供了**的工具。