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LDI激光直写光刻机

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产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

科毅科技

型号：

LDI激光直写光刻机

关注度：

619

产品介绍

项目

参数

支持基板尺寸

12inch（兼容8inch）

分辨率

L/S 2/2μm；Hole 4μm

套刻精度

正面±0.6μm、背面优于2μm

光源类型

LD

产能

40WPH


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