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全自动匀胶/显影设备

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产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

科毅科技

型号：

全自动匀胶/显影设备

关注度：

28

产品介绍

项目

参数

类型

自动上片/下片

转速

10-6000rpm

晶圆尺寸

2-12吋 

热盘温度

 **150℃

控制系统

PLC,PC 

均匀性

 ≥3% 和 ≤5%


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