B – A 皮拉尼 电容薄膜真空计

INFICON 公司生产的BCG 450 型B – A 皮拉尼电容薄膜真空计

将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中，测量过程

压强和基本压强从5×10-10 至 1500 毫巴(3.75 ×10-10 至1125

乇)。BCG 450 用于取代三种传感器（热离子，对流增强型

皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的空间。

用户优越性

􀂠 BCG 450 节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与

设置的复杂性

􀂠 10 乇以上的与气体类型无关的压强测量，对许多混合气体

提供更可靠的自锁控制

􀂠 皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁

􀂠 自动的高真空和大气压皮拉尼调整，无需操作人员干预

􀂠 相对于大气压的差压测量免除了与大气压变化有关的不稳定性

􀂠 传感元件容易更换，带机载校准数据保证数据的再现性

􀂠 备有可选的图形显示器和现场总线接口

典型应用

􀂠 半导体工艺，传送和自锁室的压强测量

􀂠 工业镀膜

􀂠 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制