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MOCVD 在线监测系统系列产品
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MOCVD 在线监测系统系列产品
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MOCVD在线监测系统系列产品用于实时监测工艺过程中晶圆的温度,反射率和翘曲度,并提供可靠的温度信号用于控温,适用于各种转速的MOCVD机台。包括温度反射率翘曲度在线监测(viperRTC)、表面温度测量(viper405)、温度校准单元(Calibration Unit)、温场扫描系统(Scanpyro)等产品
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
电脑组合体系VG42
UNI800C多物料配料控制仪
在线HPXRF检测设备
PicoFemto扫描电镜原位液体-电化学测量系统
金属称重检测一体机
BSD-PB(气液法)
片式电容四参数测试机
0~10%糖度
三路浮子流量计 MFC-3F
Oilwear 在线油液清洁度检测仪
GJT-2F系列金属探测仪