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MOCVD 在线监测系统系列产品

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昂坤视觉(北京)科技有限公司

北京

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

昂坤视觉

型号:

MOCVD 在线监测系统系列产品

关注度:

150

产品介绍

MOCVD在线监测系统系列产品用于实时监测工艺过程中晶圆的温度,反射率和翘曲度,并提供可靠的温度信号用于控温,适用于各种转速的MOCVD机台。包括温度反射率翘曲度在线监测(viperRTC)、表面温度测量(viper405)、温度校准单元(Calibration Unit)、温场扫描系统(Scanpyro)等产品

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