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MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD

MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD

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昂坤视觉(北京)科技有限公司

北京

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

昂坤视觉

型号:

MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD

关注度:

144

产品介绍

主要技术指标

l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系统 

l 测温波长:940nm 


l 测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制 


l 曲率测量传感器: CCD 

l 测温范围: 450度-1450度 

l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度

l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道)

l 2点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率


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