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MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
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昂坤视觉
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
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l 适用于Aixtron Gx 每小盘多片行星式MOCVD系统
l 测温波长:940nm ü测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制
l 测量曲率波长:405nm激光
l 曲率测量传感器:PSD
l 测温范围宽:450度~1450度
l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度
l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道)
l 单点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率
l 独有算法,可实现行星式多片wafer的曲率测量
viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统,用于慢转速,多片行星式MOCVD设备,实现对工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。测温信号,可用于闭环温度控制。
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
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