仪器简介：

加拿大Johnsen Ultravac Inc.（JUV）成立于1961，以其优异的性能与表现在全球范围内赢得了良好的声誉，被誉为超高真空领域设备制造商中的“奥德赛”！多年来，JUV一直保持着极高标准，成功地将用户的要求转化为高级的科研设备，同时也为科研、商业及工业等领域输出了大量的精密超高真空仪器。

技术参数：

该系统包括一个外径为10’’的圆柱形真空腔体，配有：分子泵、真空阀门、两个样品操作台、带开闭器的高纯蓝宝石观察窗、靶架（Target Holder）和衬底架。用户可以任意选择六个靶中的其中一个，将其沉积到直径为2-3’’的圆形衬底上。在激光沉积过程中，衬底可以进行加热。衬底通过快速进样室引入到主真空腔中。系统的真空度好于2×10-10Torr。

主要特点：

从概念的提出，到设计、加工和安装，Johnsen Ultravac公司的专业技术人员能根据用户的具体要求，设计制造出满足任何应用的系统。多年来积累的经验使Johnsen Ultravac为用户制造出配置复杂的腔体、快速进样室、样品传送装置、旋转台、升起/摆动机械装置、自动电子控制的水/气分配系统等。