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碳膜去除设备 NE-550EX

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天津市万德思诺国际贸易有限公司

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品牌:

万德思诺

型号:

碳膜去除设备 NE-550EX

关注度:

111

产品介绍

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产品型号:

NE-550EX

产品介绍:


    • 1.  Various process experience
      - Carbon for capping, SiC Trench, SiC VIA, SiC Mesa, etc.

  •  

    • 2. Smooth surface and anisotropy etching
      - Adopting ISM (Inductively Super Magnetron) source

  •  

    •  3. System line-up
      - NE-550 (1L/UL + 1 Process for carbon etching)


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