粉体行业在线展览
快速高温退火设备RTA RSA-06
面议
万德思诺
快速高温退火设备RTA RSA-06
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产品图片:
产品型号:
RSA-06
产品介绍:
Ceramic, Metal Free的热场设计
可以实现± 10℃以下(1500℃) 的面内温度分布。
急加热急冷却的设计, 即使单片对应整体速度也很快
反应炉和冷却室是分开存在, 加热部可以保持均一高温。 (**申请)
加热部一直是高温保持,综合运转成本会降低
本装置为高真空对应(可以使用干泵+涡轮分子泵)
**可以对应2000℃。
我们将通过充分利用仿真软件来建议**的热场
基本规格(SPEC)
溶液成长法单晶生长设备(TSSG法)
中型高速研磨设备 STC-610
快速高温退火设备RTA RSA-06
全自动晶片减薄机SGM-9100
桌上型精密切割机MPC-200e
MIST-CVD氧化物薄膜沉积设备 M150A
C2W低温热压键合设备 SAFP
高还原性低温热压对准键合设备 MAFP
高还原性低温热压键合设备 FATB
碳膜溅射设备 CS-200
碳膜去除设备 NE-550EX
激活退火设备 Ailesic-2000