LPE外延炉

微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型

Sentech集成等离子刻蚀和沉积的多腔系统

高功率半导体激光器散热基板

AFM德国ParcanNano高速原子力显微镜(Nano analytik）

PVA TEPLA / TECHNICS GIGABATCH 360M刻蚀机

正业自动在线线宽测量仪

美国Anasazi小型无液氦核磁共振波EFT-60、EFT-90

美国RKD化学开封机Elite Etch 7000

万用推拉力性能测试仪

锂离子电池循环测试系统

KSI v700E单探头超声波扫描显微镜

德国Sentech等离子沉积机SI 500 PPD

Oxford反应离子刻蚀机PlasmaPro 800 RIE

MD-0380MPCVD设备

Nikon尼康二手i-line光刻机NSR 2205 i12D

TFC-6650C化学气相沉积（MPCVD）设备

德国Sentech光伏测量仪器MDPinline

量产型OPV/钙钛矿卷对卷涂敷系统

PQ001核磁共振分析仪

MD-0330 6KW MPCVD设备

德国Sentech光伏测量仪SENperc PV

瑞典Mycronic掩膜计量系统Prexision-MMS

德国Netzsch热重分析仪TG 209 F3 Nevio