半导体芯片焊点无损检测

无掩膜曝光机,激光直写

超声波工业加湿器

二维材料生长设备(MoS2, h-BN, CNT等)

LPCVD 低压化学气相沉积设备

Elionix电子束曝光系统

微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型

小型台式无掩模光刻系统

CTS AP300型CMP化学机械抛光机

化学开封机Elite Etch Cu ESD 7200

海德堡Heidelberg激光直写光刻机DWL4000

固润光电PS4L全自动探针台

威思曼质谱脉冲源高压电源模块MUA 6kv/30w

美国SD PIND颗粒碰撞噪声检测仪

NanoMaster SWC-4000型CMP后清洗机

晶圆键合机

远程微波等离子体系统RPS

MDPspot单点寿命检测仪

Pentagon Qlll 表面微粒子计数器表面尘埃粒子理化分析 仪 0.1-5um

超纳太阳能硅片分选机SS2

正业LED自动编带机

喷射化学气相沉积设备(Spray CVD)

HFCVD 热丝化学气相沉积设备

TROCR 921B位移-压力测试站