匀胶机产品特点:

1、稳定的转速和快 速启动，可保证胶厚度的一 致性和均匀性；

2、转速在12000转/分范围内稳定，美国国家标准 技 术研究院（NIST）认 证过；

3、采用PLC控制，速度可调节，在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开，然后自动变到高速运转，步骤转速及相应的时间分别可调；

4、数据模拟：匀胶实验时将一组设定的涂胶速度和时长数值输入系统，系统会据此计算出速度设定方案，带有速度随 时间变化的曲 线；

5、数据记录：为了提 高实验的可重复性，设备会在数据记录模式下，实时记录下前一 次工艺过程的实验实际值，并将该组数据存储并重复调用，达到近乎一 致的可重复性；

6、NPP材质耐腐蚀及抗震；

一、匀胶机性能指标：

1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；

3、转动速度：0-12，000rpm，

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空载）；

5、马达旋涂转速：稳定性能误差<±1 %；

6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；

7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；

9、高精 度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。

10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技 术研究院（NIST）认 证过的，并且不用再校准！]

12、配套真空泵系统：无 油型 220~240伏交流，50/60赫兹；

13、配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；

14、原装进 口水平测试仪；

应用领域：

钙钛矿太阳能电池Perovskite solar cells

有机太阳电池

OPV有机光伏

OLED有机发光二 极管

OFET & TFT有机场效应晶体管&薄膜晶体管

Graphene &2D石墨烯&二维材料

Substrates衬底

Materials材料