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石墨烯薄膜CVD设备

石墨烯薄膜CVD设备

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山东力冠微电子装备有限公司

山东

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面议

品牌:

山东力冠

型号:

石墨烯薄膜CVD设备

关注度:

273

产品介绍

产品概述/Product Introduction:

♦ 本系统是一套完备的石墨烯制备系统,包括硬件和软件部分

This system is a complete graphene preparation system, including hardware and software

♦ 工作在常压气氛或真空条件,通过控制生长工艺,既可以生长出六边形的石墨烯单晶,也可以生长出花瓣状的石墨烯的单晶

Working in normal pressure atmosphere or vacuum condition, by controlling the growth process, both hexagonal graphene single crystal and petal-shaped graphene single crystal can be grown

 

产品特点/Product Characteristics:

♦ 采用单腔室或双腔室结构

Adopt single chamber or double chamber structure

♦ 取料腔室快速冷却

Rapid cooling of material taking chamber

♦ 该系统主要由电控系统、样品加热系统、工艺腔室系统、取放料系统、真空系统、气路系统、压力控制系统等组成

The system is mainly composed of electric control system, sample heating system, process chambersystem, material taking and discharging system, vacuum system, gas path system, pressure controlsystem and so on

♦ 结构型式:卧式,间歇连续式自动控制

Structure type: Horizontal, intermittent continuous automatic control

♦ 适应材料规格:A3尺寸

Suitable material specifications: A3 size

♦ 装片量:200片

Loading capacity: 200 tablets


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石墨烯薄膜CVD设备

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