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微波等离子模块
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成都奋羽电子科技有限公司
四川
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奋羽电子
微波等离子模块
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BPS 1.25 技术参数
项目 | 固态源版本 | 磁控管版本 |
长*宽*高 (辐射模块) | 490mm*390mm*128mm | 490mm*390mm*128mm |
腔体体积 | 106L | 106L |
输出功率 | 1.0kW | 1.25kW |
输出频率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
频率误差 | ±50ppm | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
供电电压 | AC380V±10% | AC380V±10% |
供电频率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
进/出水口 | 1/8宝塔接头 | DN15 |
冷却方式 | 电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 可选水冷/风冷 | 电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 可选水冷/风冷 |
控制接口 | RS485通信协议 | 具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议，9600,N,8,1 |
工艺气体 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
BPS 3.0技术参数
项目 | 固态源版本 | 磁控管版本 |
长*宽*高 (辐射模块) | 490mm*390mm*128mm | 490mm*390mm*128mm |
腔体体积 | 106L | 106L |
输出功率 | 3kW | 3kW |
输出频率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
频率误差 | ±50ppm | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
供电电压 | AC380V±10% | AC380V±10% |
供电频率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
进/出水口 | 1/8宝塔接头 | DN15 |
冷却方式 | 电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 水冷 | 电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 水冷 |
控制接口 | RS485通信协议 | 具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议，9600,N,8,1 |
工艺气体 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
