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上海至纯系统集成有限公司
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主要用于半导体行业,输送各类液态前驱体生产材料至生产机台;具有安全,可靠,不间断供液,可对测漏,循环吹扫等子程序进行参数设置等特点;液体前驱体输送系统作为完全国产化的设备,具有完全自主的知识产权,稳定生产和强大的技术团队跟进售后服务的优势。
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