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RSP-6000 平板式PVD

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中国电子科技集团公司第四十八研究所

湖南

产品规格型号
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面议

品牌:

电子科技

型号:

RSP-6000 平板式PVD

关注度:

456

产品介绍

设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。

  • 膜块化设计,便于安装以及产能升级;

    满足不同温度沉积ITO薄膜,工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术,靶材利用率高;

    分区加热和控温,具有出色的控温系统和控温性能。


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