半导体行业专用仪器-一体式垂直气流碳化硅外延设备-芯三代半导体科技（苏州）股份有限公司-产品详情

一体式垂直气流碳化硅外延设备

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芯三代半导体科技（苏州）股份有限公司

江苏

产品规格型号

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面议

品牌：

芯三代

型号：

一体式垂直气流碳化硅外延设备

关注度：

329

产品介绍

技术优势

设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。

工艺性能

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一体式垂直气流碳化硅外延设备

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