主要特点

1、传动装置为水冷式：设计新颖、结构紧凑、系列间通用、互换性强；水冷式机座，散热效果佳；滚动轴承及传动齿轮可加润滑油运行，使用寿命增长3-5倍；

2、旋转装置为行星旋转机构、据镀膜工艺不同，设计为：公转式、公/自转式；

3、采用气动门铰，自动锁门，减少操作程序，增强真空门整体的密闭性及减少对橡胶密封圈的破坏性；

4、真空容器设计为新型结构，用户可据自己的需求，升级为多功能镀膜设备；

5、多弧离子部份采用先进镀膜工艺技术，即可镀制装饰膜，也能镀制功能膜，数道工艺，一次完成，极为先进科学；

6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制；

7、报警及保护：异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

技术优势

1、膜层致密、粘附性好；膜层均匀性可调；高稳定性；高功率；

2、均匀性好；优化磁场设计，维护方便；有效水冷设计，靶材可以连续24小时工作；

3、腔体接口通用尺寸，互换性强，优化升级方便；

4、实时记录历史数据和分析数据曲线，对品质管理管控和工艺开发有明显帮助。强大的软件功能，友好的人机界面，实时记录工艺数据，利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等；

5、模块化工艺配方，灵活设定子配方和总配方，子配方添加/删减方便，一键式操作即可完成多层工艺配方。