其他测试设备-量产型半自动/全自动探针台-深圳市森美协尔科技有限公司-产品详情

量产型半自动/全自动探针台

直接联系

深圳市森美协尔科技有限公司

产品规格型号

参考报价：

面议

关注度：

897

产品介绍

量产型半自动/全自动探针台
型号	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（长）1700（宽）1100(高)
重量	1700kg	电力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
规格参数	能够测试的晶圆直径	6,”8”,12”
	晶圆厚度	300≤T≤1000um（标准） 300≧T(薄片机型）
	晶圆厚度偏差	50um
	Index time	300ms(标准速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移动的时间)
	Chuck 具备5轴移动机构	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y轴行程	380mm, **速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程机械定位精度	±2um（环境温度在±1°以内波动时）
	XY**速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z轴行程	37mm，探针分离高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z轴移动解析度	0.1um
	Z轴定位精度	±2um
	Theta 轴	±5°/0.0001°
	光栅尺	0.1um光栅尺
	预对位平台	光学原理检测，平边或者notch ±1°定位精度
	晶圆机械手	陶瓷机械手，cassette *1
	晶圆装载单元	一个升降单元，预对位单元，晶圆传输子单元以及他们的接口
	自动对位系统	自动水平扫描、自动**测试点定位、自动测试中心定位
	自动上下片系统	料盒安全保护、晶圆定位边预对准
	精确对位单元	pattern matching
	位移传感器	采用静电容传感器，分辨率 2um （option)
	照明	同轴卤素灯照明或LED光源
	视场	低倍情况：4.93.6mm 中倍情况：10.72mm 高倍情况：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G内存，128G固态硬盘等
	LCD 显示器	对位显示为黑白，其他显示为彩色，中文
	键盘	单元大小 15*15mm, 46 字母数字
	报警器(三色灯)	红，黄，绿
	操作场地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING动态显示
	标记	上下标记，标记可以实时或者离线标记，标记耗时15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可选附件	自动磨针台	可以兼容高频测试头	晶圆ID 识别功能
	可以匹配自动晶圆盒取放设备（AGV or OHT）		直接和晶圆传输控制电脑或者服务器通讯
	FOUP(front open unified Pod)有别于普通open cassette , 带有洁净气体单元（mini environment），可以在晶圆传输过程保持洁净在Class100洁净室里面，探针台内部可以达到Class 1“主体包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP测试机接口

特点
超高的测试精度和超快测试速度			自动alignment/找晶圆中心/测量diesize
支持单点测试和连续测试			功能丰富的测试软件
便捷的仪器接入			可升级自动wafer厚度测量和ID读卡

获取更多信息，请访深圳市森美协尔科技有限公司网站

产品咨询

量产型半自动/全自动探针台

深圳市森美协尔科技有限公司

请填写您的姓名：*

请填写您的电话：*

请填写您的邮箱：*

请填写您的单位/公司名称：*

请提出您的问题：*

您需要的服务：

询盘报价、价格查询

发送产品资料

与您电话联系

发送

中国粉体网保护您的隐私权：请参阅我们的保密政策来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。您继续访问我们的网站，表明您接受我们的使用条款