特点:

SURFTENS Hl automati全自动接触角测量仪专为半导体工业和科研领域设计,尤其适用于晶圆涂覆及光刻工艺中的工艺控制。

其主要特性包括

全自动接触角测绘功能

紧凑型设计,节省空间

配备电机驱动的晶圆台(X/轴)，,实现自动样品定位

电机控制的自动化加液单元

自动化液滴放置功能

软件控制全自动测量序列

测量结果可通过报告文档及视频图像进行系统化记录与分析

快速的接触角和表面均匀性测量:

SURFTENS HL automatic专为洁净室环境设计,紧凑的结构、极短的测量周期以及简单的操作流程,在同类产品中表现优异。其配备步进电机驱动的 x/p 载物台,可快速实现晶员上任意点的接触角测量。

SURFTENS HL automati仅需数秒即可完成对晶圆表面特性的均与性评估,测量结果的输出同样高效便捷,支持将数据直接传输至质量保证(QA)软件或根据需求配置为其他格式。同时,系统会在“边缘角统计”标签页中汇总并展示整个批次所有晶圆的相关统计数据,便于用户进行深入分析。

高度精确的自动测量功能

测试液滴由自动加液装置产生,液滴图像即刻以高质量实时视频画面显示在电脑屏幕。只需点击一个按键即可开始测量。软件能够快速计算接触角,并以直观的图形化界面结合精确的数据进行呈现,方便用户记录与分析。系统具备极短的测量时间(每滴仅需1秒),有效避免了因时间延迟导致的误差

SURFTENS HL automatiq则量系统不仅提供了高级别的测量重复性和精度,且操作简便,对于对比度差的图像,系统还配备了手动测量功能,为用户提供灵活的解决方案。