产品描述

Zeta-300 光学轮廓仪是一款非接触式3D表面形貌测量系统。Zeta-300 以 Zeta-20 3D 轮廓仪的功能为基础,具有额外的防震选项和灵活的配置,可处理更大的样品。该 3D 光学量测系统由已获得**的 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持,可支持各种样品测量:透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙表面,以及从纳米到厘米范围的台阶高度,Zeta-300 光学轮廓仪将六种不同的光学量测技术集成到一个可灵活配詈且易于使用的系统中。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法,膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-300 也是一款高端显微镜,可用于抽样检査或缺陷自动检测。Zeta-300 3D 轮廓仪通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能,来支持研发(R&D) 和生产环境。