加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

**功率

≤1200W

输出电压电流

电压≤12V 电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

透明玻璃腔体中160mm ×170mm

样品台

可旋转中75（可安装中60基底）

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-70mm

蒸发温度调节

≤1800°C

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚

预留真空接口

Kf25抽气口 KF16真空计接口 放气口

真空测量

电阻真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa）

可选配扩展

1：机械真空泵抽速8mYh（≤5Pa（5分钟）

2：分子泵机组（可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa）

3：膜厚仪：（厚度范围0-9999A，厚度显示分辨率1A

速率范围0-999.9A，速率显示分辨率 0.1A，晶振频率5-6MHz）

标配

1台小型蒸镀仪KT-Z1650CVD主机，电源线、合格证、说明书、保修卡各一个