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ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机

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北方华创

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ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机

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产品介绍

产品简介

      ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备可以用于正装芯片,倒装芯片,垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP),隔离刻蚀(刻蚀材料GaN,GaAs)SiO2, SiNX),SiO2 金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要


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