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>ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机
ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机
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北方华创科技集团股份有限公司
北京
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北方华创
1211
产品简介
ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片,倒装芯片,垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP),隔离刻蚀(刻蚀材料GaN,GaAs)SiO2, SiNX),SiO2 和金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要。
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