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全自动晶圆2D/3D AOI光学检验机

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产品介绍

WAFER AOI光学检验系统

进料的wafer,经过正反面目检和显微镜正面micro检查,进行检查和分选。操作员不接触wafer,避免了污染和损伤wafer。

性能描述:

  • 标准配备1个Load port,单臂翻转Robot,Pre-aligner,目检台和显微镜。

  • 兼容8寸和12寸wafer

  • 标准load port可以对应FOUP,AutoFOSB自动开盖,具备mapping功能

  • 高精度运动机构,低噪音,低尘,无需供油。

  • 触摸屏操作,界面友好。

  • 对应GEM300,采用SEMI标准软件

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