半导体行业专用仪器-SiC高温退火设备-山东力冠微电子装备有限公司-产品详情

SiC高温退火设备

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山东力冠微电子装备有限公司

山东

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

山东力冠

型号：

SiC高温退火设备

关注度：

371

产品介绍

技术指标/Technical Indicators：

晶片尺寸: 4/6英寸

Wafer size: 4/6 inches

工作温度范围: 800-2000°C

Perating temperature range: 800-2000°C

装片量: 50/80片

Loading capacity: 50/80 tablets

应用范围/Scope：

♦ 用于SiC基半导体材料的离子激活和退火处理

lon activation and annealing treatment for SiC-based semiconductor materials

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SiC高温退火设备

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