粉体行业在线展览
CMG200
面议
CMG200
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产品优势:
(1)独特的双轴支撑结构,降低了磨削单元间的振动和变形的相互干扰,有效提升设备的稳定性和加工质量的一致性
(2)多参数传感器测量系统,实时采集传输并分析处理设备运转参数,增强设备故障预测性维护
(3)全流程自动化加工系统,实现多装置的高度集成,多功能兼容,降低人工干预,提升加工效率与安全性
产品特点:
(1)结构紧凑,轻量化设计
(2)优异的结构刚性
(3)灵活配置,广泛应用性
(4)软件定制化,人性化操作界面
(5)持久耐用,安全无忧
项目 | 技术参数 |
型号 | CMG200 |
加工材料 | SiC, Si, GaN等硬脆材料 |
加工晶圆尺寸 | 4/6/8英寸 |
砂轮直径 | 313mm |
可加工**厚度 | 60mm |
磨削主轴转速 | 6000rpm |
磨削主轴功率 | 13KW |
片内厚度偏差TTV | 1.5μm |
表面粗糙度Ra | 3nm |
自动装夹装置 | 可选配 |
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