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M82 750B 6K气相沉积设备

M82 750B 6K

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上海顺心谷半导体科技有限公司

上海

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

顺心谷

型号:

M82 750B 6K

关注度:

11

产品介绍

技术参数

项目数据
设备型号M82 750B 6K
操作系统SXG-MPCVD控制系统
微波频率2450MHz,输出功率:6KW
反应腔承载功率≦10KW
生长台Φ2英寸
工作压力10-200Torr
标准气路5路/6路(可定制)
测温系统红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
设备尺寸1500MM(长)*800MM(深)*1980MM(高)
设备重量490KG


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