粉体行业在线展览
M82 750B 6K
面议
顺心谷
M82 750B 6K
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技术参数
项目 | 数据 |
设备型号 | M82 750B 6K |
操作系统 | SXG-MPCVD控制系统 |
微波频率 | 2450MHz,输出功率:6KW |
反应腔 | 承载功率≦10KW |
生长台 | Φ2英寸 |
工作压力 | 10-200Torr |
标准气路 | 5路/6路(可定制) |
测温系统 | 红外测温,测温范围300~1400℃ |
系统真空密封性(氦质谱捡漏) | <1×10-9 Torr.l/sec |
真空泵 | 17.1 m3/H |
设备尺寸 | 1500MM(长)*800MM(深)*1980MM(高) |
设备重量 | 490KG |
XRD-晶向定位
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