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电子回旋共振等离子体(ECR)系统

电子回旋共振等离子体(ECR)系统

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成都华宇微波技术有限公司

四川

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

成都华宇

型号:

电子回旋共振等离子体(ECR)系统

关注度:

124

产品介绍

性能特点:

֍具有无热阴极、电离度高的特点

֍具有可忽略放电室壁的散射的特性

֍能在低真空度下工作

֍设备性能稳定,使用寿命长


主要技术参数:

微波源输出功率

260W - 1500W
极限真空度≤5×10-5Pa·m3/s
气体质量流量控制多路
工作气压1Pa - 200Pa
磁场强度0 - 1000高斯可调
偏压0V - 300V


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