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主动隔振系统(电子显微镜、半导体设备专用)

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上海良允科学仪器有限公司

上海

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面议

品牌:

上海良允

型号:

主动隔振系统(电子显微镜、半导体设备专用)

关注度:

165

产品介绍

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度传感器检测地板的振动,通过6自由度的反馈及前馈控制的双重主动控制,由气动和线性马达执行器来实现振动衰减,消除影响电子显微镜正常工作的安装场地的细微振动,满足电子显微镜厂商提供的允许振动值。

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