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离子束溅射沉积系统

定制-离子束溅射沉积系统

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厦门毅睿科技有限公司

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品牌：

毅睿/芯壹方

型号：

定制-离子束溅射沉积系统

关注度：

25

产品介绍

离子束溅射沉积系统


离子束溅射沉积系统第8页-31.PNG


Description:

●低压溅镀沉积(10-4Torr)

●高质量、平滑、无针孔无针孔薄膜

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●增强的附着力和微观结构控制

●**的覆盖效果高宽比特征

●独立控制离子束参数，使用户能够设计薄膜以获得所需的特性

●低能量离子辅助端霍尔离子源



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