半导体行业专用仪器-超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统-厦门毅睿科技有限公司-产品详情

超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

定制-超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

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毅睿/芯壹方

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定制-超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

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超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

超高真空多腔体自动传输蒸镀溅镀系统第11页-38.PNG 超高真空多腔体自动传输蒸镀溅镀系统第11页-39.PNG 超高真空多腔体自动传输蒸镀溅镀系统第11页-40.PNG 超高真空多腔体自动传输蒸镀溅镀系统第11页-36.PNG 超高真空多腔体自动传输蒸镀溅镀系统第11页-37.PNG

Description :

●UHV 多腔体:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,

●基板:多片/单片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸

●单片，多片承载装置Cassettes,可程式自动选择及传输

●真空度:UHV 10-9 Torr

●自动传输，自动制程设定...etc.,

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