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AR9000RR 全自动环切机

AR9000RR 全自动环切机

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江苏京创先进电子科技有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

京创先进

型号:

AR9000RR 全自动环切机

关注度:

82

产品介绍

AR9000RR 全自动环切机

主要特点:

▏多轴联动环切技术,保证环切精度。
定制化工作台设计,保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
四工位,多片协调加工,加工效率高。
全自动上下料、传输定位、清洗 、解胶、取环,实现全自动运行模式,大大降低OP工作量。
稳定的TAIKO外环解胶和取环。
兼容性好,与市面上的其他类型设备,关键耗材兼容性高。
便捷的操作和人机交互界面。


先进功能:

☑ 掉环检测功能;
工作台自动清洗功能;
智能UV解胶系统;
 操作日志记录功能;
二流体清洗功能;
真空预警与真空管路去水功能;
搬运撞击检测功能;
 条形二维码识别功能;
 *工厂自动化模块;
 *软件定制。

详情

应用:

主要用于TAIKO工艺下的半导体晶圆的全自动外环去除,适用于特定半导体等材料。

技术指标:

**工作物尺寸

mm

ø12" 

主轴

配置方式


单轴

转速

Rpm

3,000-60,000

输出功率

kW

1.8(2.4可选) at 30,000min-1

**刀片径

mm

Ø58

X轴

可切割范围

mm

310

Y轴

可切割范围

mm

310

单步步进量

mm

0.0001

定位精度

mm

0.003以内/310  0.002以内/5(单一误差)

Z轴

移动量分辨率

mm

0.00005

重复精度

mm

0.001

θ 轴

**旋转角度

deg

380

主轴形式


单主轴,安装硬刀盘做环形切割

环切精度

μm

±50

晶圆定位精度

μm

±50

单片效率

min/片

8

多片效率


*多4片同时加工

设备重量

Kg

≈3,200

设备尺寸/ W*D*H

mm

2,730*1,550*2,070

使用条件

• 请使用大气压露点在-15 ℃以下残余油分为0.1 ppm,过滤度在0.01 μm/99.5 %以上的清洁压缩空气。
• 请将放置机械设备的房间室温设定在20 ℃〜25 ℃之间,并将波动范围控制在±1 ℃以内。
• 请将切削水的水温控制为室温+2 ℃(变化波动范围在±1 ℃以内),将冷却水的水温控制为与室温相同(变化波动范围在±1 ℃以内)。


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AR9000RR 全自动环切机

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