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SU-8等离子去胶机
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北京杰能达机电设备有限公司
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北京杰能达
SU-8等离子去胶机
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用于去除SU-8这样的厚光组层
还可以用于各向同性材料蚀刻，例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等
不受离子腐蚀的纯化学腐蚀
集成RPS源（遥控/自由基等离子源）
等离子区域水冷
基板超低热负荷
腐蚀速率高（很大范围内不低于200μm/h）
基板尺寸可达460mm x 460mm
SU-8等离子去胶机
等离子蚀刻机
2450MHz固态微波发生器
6KW脉冲10KW微波发生器
915MHZ 30KW微波发生器
15KW微波发生器
微波头MH6000S-250BF
微波电源（开关模式）MX6000D-154KL
微波电源（开关模式）MX3000D-176KL
MH2000S-250BF
微波电源（开关模式）
