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TFC-10800C微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备

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碳方程

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TFC-10800C微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备

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TFC-10800C，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***的 CVD系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微波等离子体（MPCVD）综合设备。

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