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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

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品牌：

北京泰科诺

型号：

热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

关注度：

57

产品介绍

设备名称：热丝 CVD 金刚石膜沉积设备

设备型号：HF700

真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷

真空腔室尺寸：Φ700mmxH700mm

真空系统：高真空泵组系统

基片台尺寸：350mm²×350mm² 方形基片台（旋转、升降可选）

衬底温度：600 ～ 1100℃

获取更多信息，请访北京泰科诺科技有限公司网站

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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

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