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12寸边缘刻蚀机

12寸边缘刻蚀机

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南轩(天津)科技有限公司

天津

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面议

品牌:

天津南轩

型号:

12寸边缘刻蚀机

关注度:

25

产品介绍

12寸边缘刻蚀机

1): 适用于6-12”硅片的去边处理; 

2): 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm,特殊规格支持定制; 

3): 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组,Buffer位,刻蚀槽,水洗槽,甩干位,储酸槽; 

4): FOUP LoadPort各部分均可以独立操作; 

5): 具有两套硅片上料线,上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参; 

6): 用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运; 

7): 下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中; 

8): 采用国际知名的电气元件。 


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12寸边缘刻蚀机

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