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卧式LPCVD

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中国电子科技集团公司第四十八研究所

湖南

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面议

品牌：

电子科技

型号：

卧式LPCVD

关注度：

133

产品介绍

应用于宽禁带半导体器件、电力电子器件、光电子等行业氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制备；适用工艺有LPCVD。

  • 温度控制采用串级控制方式，对基片实际温度进行实时智能控制；

    装载采用SiC悬臂桨，避免了与工艺管摩擦产生粉尘。


获取更多信息，请访中国电子科技集团公司第四十八研究所 网站

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