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M82 730 6K气相沉积设备

M82 730 6K

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上海顺心谷半导体科技有限公司

上海

产品规格型号
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面议

品牌:

顺心谷

型号:

M82 730 6K

关注度:

14

产品介绍

技术参数

项目数据
设备型号M82 730 6K
操作系统SXG-MPCVD控制系统
微波频率2450MHz,输出功率:6KW
反应腔承载功率≦10KW
生长台Φ2英寸
工作压力10-200Torr
标准气路5路/6路(可定制)
测温系统红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
设备尺寸主机:1500MM(长)*700MM(深)*1880MM(高)
电控柜:545MM(长)*765MM(深)*1740MM(高)
设备重量主机:375KG;电控柜:185KG

  公司位于上海青浦区,具备一流的洁净生产车间和生产测试设备。我们有深厚的技术积累,核心团队由德国归国博士主导,研发团队由业内尖端技术人员组成,与国内外多所大学及研发机构建立了长期战略合作关系;我公司研发团队与德国FM集团联合攻关,以项目分工合作方式,在微波输出功率不同(6KW及10KW)的情景下,以高科技的数字化手段模拟微波场的不同分布,实现定制适配器与真空腔体**结构的**结合,使得我们的新一代MPCVD设备性能更加优异;经过持续的技术研发,我们已在MPCVD行业技术领域具备一定知名度。我们立志**国内MPCVD行业,为所有合作方提供全方位的智能解决方案,并提供全面、专业的售后服务支持。

公司坚持“设备+工艺”的双优发展方针,以设备优化工艺,以工艺反驱设备,形成产业链的闭环发展和双向优化。

目前已研发出微波等离子化学气相沉积系统,用于生产高等级和高纯净度的单晶合成金刚石;产品应用行业还可以跨越航空航天、半导体器件、光学、散热器件、量子计算机、珠宝首饰等各个领域;我公司同时也从事微波等离子体技术的应用和开发,并致力于微波等离子体技术的成果转化和产业化。

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