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HF600热丝化学气相沉积金刚石设备
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研博智创
HF600热丝化学气相沉积金刚石设备
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一、功能描述:
1.可用于沉积金刚石涂层厚膜,直径200毫米的基片上厚度可达到毫米级;
2.可用于沉积刀具涂层,例:纳米涂层、DLC等;
3.可用于沉积模具涂层,例:拉丝模、紧压模等;
4.可用于开发导电涂层应用,例:防腐蚀电极等;
5.可提供成套热丝化学气相沉积生长金刚石设备烧丝工艺及厚膜生长基本工艺支持。
二、技术性能指标:
JGCF350金刚石颗粒镀膜设备
粉体镀膜涂层设备 JGCF650
真空升华提纯炉 VDS40/80
真空电弧炉 VDK250
高真空退火炉 VTHK550
高真空退火炉 VTHK350
高真空电子束蒸发镀膜机 TEMD500
高真空电子束蒸发镀膜机 TEMD600
高真空有机/金属蒸发镀膜机 ZHDS400
高真空电阻蒸发镀膜机 ZHD300
高真空电阻蒸发镀膜机 ZHD400
高真空有机金属蒸发镀膜机ZHD350
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自动划片机
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll
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