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钛合金加工真空镀膜设备

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佛山市金欣盛真空设备有限公司

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品牌：

金欣盛

型号：

钛合金加工真空镀膜设备

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性能型号		JXS-DSV-1416	JXS-DSV-1618	JXS-DSV-1822	JXS-DSV-2030	JXS-DSV-2236
镀膜室尺寸		Ф1400×H1600mm	Ф1600×H1800mm	Ф1800×H2200mm	Ф2000×H3000mm	Ф2200×H3600mm
用于行业		五金行业、装饰装潢行业、家用家电行业等
用于产品		小五金行业等
镀膜效果		钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等
真空室结构		立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统	扩散泵	≥16000（L/s）	≥26000（L/s）	≥26000（L/s）	≥36000（L/s）	≥42000（L/s）
	罗茨泵	≥300（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）
	机械泵	≥140（L/s）	≥140（L/s）	≥140（L/s）	≥210（L/s）	≥210（L/s）
	维持泵	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）
	备注	可根据客户的要求进行配置
真空测量系统		薄膜规(MKS)、冷阴极(MKS)、皮拉尼(MKS)
电源类型		直流电源、中频电源、脉冲电源
极限真空指标		空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
电弧源		≥12台	≥14台	≥16台	≥20台	≥24台
		≥200A	≥200A	≥200A	≥200A	≥200A
偏压电源		≥30KW	≥30KW	≥40KW	≥40KW	≥40KW
磁控电源		≥0	≥0	≥0	≥0	≥0
工件转动方式		多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
工件烘烤温度		常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控）
工艺气体		3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
		氩气、氮气、氧气、乙炔等
冷却方式		水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
控制方式		PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
供给指标		气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、

多弧离子镀技术的工作原理主要基于冷阴极真空弧光放电理论。图1为多弧离子镀工作原理示意图，点燃真空电弧后，阴极靶材表面上出现一些不连续、大小和形状多样、明亮的斑点,它们在阴极表面迅速地做不规则的游动,一些斑点熄灭时又有些斑点在其他部位形成，维持电弧的燃烧。阴极斑点的电流密度达104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度发射金属蒸气，其中每发射10个电子就可发射1个金属原子,然后这些原子再被电离成能量很高的正离子（如Ti+）,正离子在真空室内运行时与其他离子结合（如与N-形成TiN），沉积在工件表面形成涂层。

获取更多信息，请访佛山市金欣盛真空设备有限公司网站

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