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金欣盛陶瓷真空镀膜设备

金欣盛陶瓷真空镀膜设备

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佛山市金欣盛真空设备有限公司

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品牌:

金欣盛

型号:

金欣盛陶瓷真空镀膜设备

关注度:

19

产品介绍

磁场与电场的交互作用( E X B drift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。至于靶面圆周型的溅射轮廓,那是靶源磁场磁力线呈圆周形状形状。磁力线分布方向不同会对成膜有很大关系。在E X B shift机理下工作的不光磁控溅射,多弧镀靶源,离子源,等离子源等都在次原理下工作。所不同的是电场方向,电压电流大小而已。

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