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溅射镀膜设备
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杰莱特
溅射镀膜设备
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型号:IBSH-1030 特点: 1、基板水平放置,垂直监控; 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋×1 或 6吋×4; 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控。 6、无膜厚分布修正板 |
型号:IBSH-1030 特点: 1、基板水平放置,垂直监控; 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋×1 或 6吋×4; 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控。 6、无膜厚分布修正板 | 型号:IBSH-1030 特点: 1、基板水平放置,垂直监控; 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋×1 或 6吋×4; 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控。 6、无膜厚分布修正板 |