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垂直镀膜机
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杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
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垂直镀膜机
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2）控制精度
a)靶材旋转：0.005°
b)工件旋转: <1000RPM
c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev
d)膜厚修正板：0.005°
e)挡板: position switch
3）光学监控系统OMS
a) 波长范围：380nm～1650nm
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll
