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单片清洗设备 GMC-12SC

GMC-12SC

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吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司

无锡

产品规格型号
参考报价:

面议

型号:

GMC-12SC

关注度:

760

产品介绍

设备特点:

 叠堆设计**可配置12个腔室

 上下层传送系统提供多达350wph的吞吐量

 可配置可正背面清洗,药液种类多达5种,可回收2种药液

 腔体可配备二流体雾化喷嘴

 腔室可将化学飞溅降至*低,确保腔体清洁晶圆加工环境

 腔体超洁净空气动态平衡均一性好


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