粉体行业在线展览
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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
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上海铂世光半导体科技有限公司
上海
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铂世光
W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
1511
| 系统特点： |
| ·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀性 |
| ·稳定沉积面积20cm2 |
| ·**功率达到6KW |
| ·使用纯净的石英窗 |
| ·采用不锈钢反应腔，能耐高温 |
| 设备的优势： |
| ·反应可控，能长时间稳定工作在6KW |
| ·所有电子设备中采用微波，没有电极放电，没有金属污染 |
| ·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置，减少硅的析出 |
| ·参照C/H/O比例表，对反应物有更大的选择余地 |
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