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微型热沉积系统

定制-微型热沉积系统

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定制-微型热沉积系统

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38

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微型热沉积系统


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●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)

●真空室:350(D) x 440(H)

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●极限压力 ≤5E-7Torr

●衬底大小:3”



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